1、離子束拋光機IFS300A
暢銷的離子束拋光機
雙真空室，快速更換工件，離子束拋光生產效率高。
集成法拉第杯和三坐標測頭，法拉第杯測量離子束空間位置及分布，三坐標側頭測量工件空間位置及姿態(tài)，從而建立精準加工坐標系，實現高確定性、高精度的離子束拋光，有效消除中高頻誤差。
工件側立式裝夾，離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。
無線操作手柄，
離子束拋光控制軟件高度集成、智能；離子束拋光保護措施完善，具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統(tǒng)故障保護、離子源故障保護等。
名稱 | 參數 |
加工能力 | 300mm×300mm |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等 |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等 |
可加工精度 | 亞納米加工精度、可實現面形RMS＜1nm超高精度加工 |
X軸行程 | ≥300mm |
Y軸行程 | ≥300mm |
Z軸行程 | ≥300mm |
離子源 | 美國Veeco HC 5cm / 德國射頻離子源 |
中和器 | 美國 Veeco HCN / 德國 |
工作真空建立時間 | ≤1 hours |
副室真空建立時間 | ≤15 min |
X軸最大運動速度 | 5m/min |
Y軸最大運動速度 | 5m/min |
Z軸最大運動速度 | 3m/min |
運動軸重復定位精度 | ≤±0.01mm |
保護功能 | 具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統(tǒng)故障保護、離子源故障保護等 |
智能功能 | 具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 | 長寬高：2.5x2.5x2.1m |
整機重量 | 4噸 |
能耗功率 | Max:12KW Avg:5KW |
2、離子束拋光機IFS1000-600B
咨詢電話：13522079385
雙真空室，快速更換工件，離子束拋光生產效率高。
集成法拉第杯和三坐標測頭，法拉第杯測量離子束空間位置及分布，三坐標側頭測量工件空間位置及姿態(tài)，從而建立精準加工坐標系，實現高確定性、高精度的離子束拋光，有效消除中高頻誤差。
工件側立式裝夾，離子束拋光操作方便、可靠、穩(wěn)定。
無線操作手柄。
離子束拋光控制軟件高度集成、智能；離子束拋光保護措施完善，具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統(tǒng)故障保護、離子源故障保護等。
智能功能：具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。
名稱 | 參數 |
加工能力 | 1000×600mm，250mm厚 |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等； |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等； |
加工光學元件精度 | 亞納米加工精度、可實現面形RMS＜1nm超高精度加工； |
X軸行程 | ≥1100mm |
Y軸行程 | ≥700mm |
Z1軸行程 | ≥300mm |
Z2軸行程 | ≥300mm |
離子源 | 美國Veeco HC 5cm / 德國射頻源 |
工作真空建立時間 | ≤1 hours |
副室真空建立時間 | ≤15 min |
X軸最大運動速度 | 5m/min |
Y軸最大運動速度 | 5m/min |
Z軸最大運動速度 | 3m/min |
運動軸重復定位精度 | ≤±0.01mm |
保護功能 | 具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護、運動系統(tǒng)故障保護、離子源故障保護等 |
智能功能 | 具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 | 長寬高：3.8×3.2×2.6m |
整機重量 | 9噸 |
能耗功率 | Max:18KW Avg:7KW |
